研究設備

研究設備トピックス

集束イオンビーム加工・観察装置

導入時期：
概　要：: 日立製FB-2000A集束イオンビーム加工・観察装置．集束したガリウムイオンビビームによる走査で，ナノスケールの試料観察と加工が可能．主に透過型電子顕微鏡の試料作成に用いられる．観察視野中の任意の位置から，ＴＥＭ観察用薄膜試片の切り出しが可能である
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